研究開発用 ダイヤモンド成膜設備（熱フィラメントCVD）
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| 基本情報 | |
|---|---|
| 名称 | 研究開発用 ダイヤモンド成膜設備（熱フィラメントCVD） |
| 製品概要 | 自社設計制作設備 熱フィラメントCVD方法設備 |
| 詳細情報 | |
|---|---|
| 型式 | ＣＶＤ装置 |
| 特徴 | 手動操作はもちろん、真空引きからフィラメント炭化、試料のフィラメントまでの距離、チャンバー真空度、ガスの流量、成膜温度、時間、電流調整、冷却、チャンバー圧の復帰までを自動で行います。 |
| 基本情報 | |
|---|---|
| 名称 | 研究開発用 ダイヤモンド成膜設備（熱フィラメントCVD） |
| 製品概要 | 自社設計制作設備 熱フィラメントCVD方法設備 |
| 詳細情報 | |
|---|---|
| 型式 | ＣＶＤ装置 |
| 特徴 | 手動操作はもちろん、真空引きからフィラメント炭化、試料のフィラメントまでの距離、チャンバー真空度、ガスの流量、成膜温度、時間、電流調整、冷却、チャンバー圧の復帰までを自動で行います。 |