研究開発用 ダイヤモンド成膜設備(熱フィラメントCVD) 基本情報 名称 研究開発用 ダイヤモンド成膜設備(熱フィラメントCVD) 製品概要 自社設計制作設備 熱フィラメントCVD方法設備 詳細情報 型式 CVD装置 特徴 手動操作はもちろん、真空引きからフィラメント炭化、試料のフィラメントまでの距離、チャンバー真空度、ガスの流量、成膜温度、時間、電流調整、冷却、チャンバー圧の復帰までを自動で行います。